Logowanie do System sprawozdań KDM

Spektroskopowa optyczna tomografia koherentna w pomiarach cienkich warstw ośrodków fazowych

Kierownik projektu: Aleksandra Kamińska

Politechnika Gdańska

Wydział Elektroniki, Telekomunikacji i Informatyki

Gdańsk

Streszczenie projektu

Przedmiotem podjętego zadania badawczego jest rozszerzenie możliwości metrologicznych systemów optycznej tomografii koherentnej (ang. Optical Coherence Tomography - OCT) poprzez zwiększenie rozdzielczości i czułości pomiaru.

Optyczna tomografia koherentna jest metodą obrazowania powierzchniowych i wewnętrznych struktur szerokiej klasy obiektów. Technika ta wykorzystuje pomiar natężenia promieniowania wstecznie rozproszonego przez badany materiał.

Głównymi zaletami OCT są: wysoka rozdzielczość obrazowania oraz nieniszczący charakter metody. OCT umożliwia pozyskiwanie obrazów trójwymiarowych poprzez skanowanie obiektu wiązką promieniowania optycznego z szerokiego zakresu spektralnego. Wszystkie te cechy powodują OCT jest interesującym i często podejmowanym tematem badam. Udoskonalanie metody polega na opracowaniu nowych algorytmów do przetwarzania sygnału oraz wytwarzaniu komponentów dedykowanych technice OCT.

Poprzez zastosowanie nowego algorytmu cyfrowego przetwarzania sygnału pomiarowego OCT (analiza amplitudowo-fazowa) możliwy jest pomiar grubości oraz jednorodności struktur cienkowarstwowych, niedostępny dla klasycznych systemów OCT. Dzięki opracowaniu i wdrożeniu nowej metody analizy danych systemy OCT mogą być konkurencyjne pod względem rozdzielczości dla takich technik pomiarowych jak elipsometria, profilometria lub różnego typu mikroskopia skaningowa. Ponadto proponowana metoda umożliwia pomiar grubości warstw poprzez inną warstwę (warstwę powierzchniową) o grubości większej niż długość drogi koherencji źródła promieniowania optycznego wykorzystywanego w systemie OCT.